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      半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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      高純四氟化鍺CAS#:7783-58-6

      更新時間:2020-07-04 點擊數(shù):4134

      高純四氟化鍺CAS#:7783-58-6

      四氟化鍺(GeF4)是一種鍺的氟化物,分子量為148.63,無色、辛辣大蒜氣味氣體,空氣中遇水產(chǎn)生大量白煙。常態(tài)下四氟化鍺性質(zhì)穩(wěn)定,在水中發(fā)生水解,生成GeO2和H2GeF6

      產(chǎn)品指標

      產(chǎn)品用途:

      四氟化鍺在半導(dǎo)體行業(yè)中用于摻雜和離子注入。四氟化鍺結(jié)合乙硅烷氣體,可以直接在玻璃基底上制造硅鍺微晶。在化學(xué)工業(yè)中還可用于合成試劑。

      訂貨信息:

      包裝、貯存:

      四氟化鍺充裝在鋼質(zhì)無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為2 L、5 L、8 L、10 L等。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。四氟化鍺儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房,遠離火種、熱源。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。


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